星弧涂層科技有限公司一直站在國際PVD技術的前沿,擁有10多年的真空設備生產、服務和研發經驗,一直致力于PVD技術的工業化應用,并取得了卓越的成果。公司積累了豐富的PVD設備設計和制造經驗,并可根據客戶的具體要求設計制造高品質的真空鍍膜設備。
Jupiter系列PVD涂層設備:1)真空室有效尺寸- ø1500x1100mm 2)抽氣系統-機械泵+羅茨泵+擴散泵 3)靶-5個:磁控濺射-2個;磁控陰極弧-2個;離子源-1個 4)工件轉架-10~12個帶自轉行星轉架,每個工件均可自轉 5)控制系統- PLC用于工藝過程控制;PC用于控制界面 6)涂層- TiN,TiAlN, CrN, TiAlCrN等 7)主要應用領域-一般切削刀具,成型及沖壓模具,耐磨零件。
Diamant系列PVD/IAPVD涂層設備:1)真空室有效尺寸- ø1300x1100mm 2)抽氣系統-機械泵+羅茨泵+擴散泵 3)靶-6個:磁控濺射-2個;IAPVD源-4個 4)工件轉架-12個帶自轉行星轉架,每個工件均可自轉 5)控制系統- PLC用于工藝過程控制;PC用于控制界面 6)涂層- TiN,TiAlN,DLC等 7)主要應用領域-耐磨零件和自潤滑零件,高檔工模具,特殊切削刀具。
Seeyu系列PVD涂層設備:1)真空室有效尺寸- ø1200x900mm 2)抽氣系統-機械泵+羅茨泵+分子泵 3)靶-6個:磁控濺射-1個;過濾陰極弧-3個;離子源-2個 4)工件轉架-12個帶自轉行星轉架,每個工件均可自轉 5)控制系統- PLC用于工藝過程控制;PC用于控制界面 6)涂層- ta-C, DLC, DLC-Al等 7)主要應用領域-高檔工模具,耐磨零件和自潤滑零件,特殊切削刀具。