10(十)級(jí)潔凈室裝修工程技術(shù)是高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程項(xiàng)目的科技攻關(guān)產(chǎn)業(yè)化成果，主要用于6英寸以上晶片大規(guī)模集成電路科研和生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)高潔凈等級(jí)工藝環(huán)境。10(十)級(jí)潔凈室設(shè)計(jì)施工特點(diǎn)：滿(mǎn)足6～8英寸硅片亞微米級(jí)大規(guī)模集成電路科研和生產(chǎn)的高潔凈等級(jí)工藝環(huán)境達(dá)到ISO14644-1及USA Fed std209E國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)要求，送入0.1微米10級(jí)潔凈室上方靜壓箱的空氣經(jīng)過(guò)三級(jí)過(guò)濾的預(yù)處理，降低了顆粒濃度，潔凈度0.1微米10級(jí)的實(shí)現(xiàn)。采用低噪音風(fēng)機(jī)組實(shí)現(xiàn)靜壓和低噪音，溫度控制實(shí)現(xiàn)22℃±0.5℃，濕度控制實(shí)現(xiàn)45%±5%。10級(jí)潔凈室設(shè)計(jì)施工技術(shù)指標(biāo)：1. 凈化級(jí)別：0.1微米 10級(jí)2. 室內(nèi)靜壓：≥5Pa(≥0.5mmH2O)3. 潔凈室氣流：層流4. 室內(nèi)噪聲：≤65db(A)5. 室內(nèi)溫度：22℃±0.5℃6. 室內(nèi)濕度：45%±5%7. 室內(nèi)照明：350Lx～800Lx
10級(jí)潔凈室施工_FFU龍骨吊裝
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