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臭氧發生器的規格是按照臭氧產生的重量單位劃分的。臭氧產量的單位是mg/h或g/h（毫克/小時，克/小時），即臭氧發生器工作1小時能夠產生重量單位的臭氧。
臭氧在空中的濃度單位是ppm或mg/m3；臭氧水中的濃度單位是ppm或mg/mL。換算方法：在空氣中時1ppm=2mg/m3；在水中時，1ppm=1mg/mL。
臭氧在大氣中達到一定的濃度時就會造成環境污染。我國規定在居住環境，臭氧濃度超過時0.15mg/m3就構成空氣污染；在作業場所，臭氧濃度超過0.2mg/m3時就構成污染。
空氣中的臭氧濃度達到0.01-0.02mg/m3時，人即可嗅知。
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