產(chǎn)品分類 更多>>
隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個很重要的課題。
在一個64-Mbit的集成電路處理中，設(shè)計要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
在這里用到了化學(xué)增強光學(xué)電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會導(dǎo)致零件的失效。
于是，為了正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。
該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴散吸取式采樣器。
該擴散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進行分析。
還有多通道型(16點)選配件供選擇。
兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。
