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-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump
應用原理:
在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境(真空度可提高半個數量級,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實際應用當中,根據所放的位置不同可以分為兩類(見圖):
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置,使盤管每次開門之前恢復到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜,影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴散泵返油,同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態,無需除霜裝置。
根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.
本公司研發生產的-145℃深冷水汽捕集泵,采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、品牌壓縮機及制冷配件、環保混合型制冷劑生產,替代液氮,節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點,其性能指標在國內處于地位,達到甚至超過國際先進水平。
主要的性能特點
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%;
2、降溫迅速,3分鐘內制冷到-120℃,較低可到-150℃;
3、2分鐘熱氣除霜,迅速回溫,5分鐘可再降溫;
4、一臺設備可設計兩