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應用原理:
在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境(真空度可提高半個數量級,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實際應用當中,根據所放的位置不同可以分為兩類(見圖):
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置,使盤管每次開門之前恢復到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜,影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴散泵返油,同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態,無需