鈦靶,鈦濺射靶;應用于裝飾和功能 鍍膜工業(yè)、平面顯示工業(yè)、光數(shù)據(jù)存儲工業(yè) (光盤工業(yè))光通訊工業(yè)、玻璃鍍膜(建筑 玻璃和汽車玻璃)工業(yè)等行業(yè).度是靶材的主要性能指標之,因為靶材的度對薄膜的性能影響很大。靶材的主要性能要求:度度是靶材的主要性能指標之,因為靶材的度對薄膜的性能影響很
靶材的主要性能要求:
度
度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6