鈦靶,鈦濺射靶;應用于裝飾和功能 鍍膜工業、平面顯示工業、光數據存儲工業 (光盤工業)光通訊工業、玻璃鍍膜(建筑 玻璃和汽車玻璃)工業等行業.度是靶材的主要性能指標之,因為靶材的度對薄膜的性能影響很大。靶材的主要性能要求:度度是靶材的主要性能指標之,因為靶材的度對薄膜的性能影響很
靶材的主要性能要求:
度
度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6
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