訂貨號
XDS5
類型
氣體傳輸泵
貨號
XDS5
品牌
Edwards
型號
XDS5
材質
鑄鐵
原理
漩渦泵
真空度
高真空度
驅動方式
電動
性能
自動
用途
真空泵
輸送介質
干泵
功率
7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr(kw)
極限壓力
7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr(pa)
泵軸位置
臥式
抽氣速率
7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr(l/s)
抽氣量
7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr
較大工作壓強@a