產品分類 更多>>
ITO靶材燒結爐
<特點>
ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型,再經高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。
菲力思特材料科技有限公司為助力中國靶材的市場占有率,引進國外先進設計理念,結合國內實際生產經驗,研發出了性能卓越的ITO靶材燒結爐,解決了靶材生產過程中艱難的一環-----燒結,大大提升了產品合格率。該設備內部氧氣度可以超過99.5%,爐內氣氛始終處于微正壓,設備可完成脫脂燒結一體化,大大節約能耗縮短生產周期,爐內溫度均勻性一般在