Aerotech氣浮平臺、精密直線平臺
AEROTECH設計和制造zui高性能的運動控制和定位系統。用戶覆蓋世界各地的工業,政府,科學和研究機構。AEROTECH精密的運動控制產品(motion control products)成功應用于醫療設備和生命科學,半導體和平板顯示,軍事/航空宇宙,電子制造和測試,汽車等行業。
從1970年起,AEROTECH就為用戶設計和制造zui高性能的運動控制(motion control)和定位系統(positioning systems)。用戶覆蓋世界各地的工業,政府,科學和研究機構。AEROTECH精密的運動控制產品(motion control products)為當前要求苛刻的市場如:
醫療設備和生命科學(medical device and life sciences),
半導體和平板顯示(medical device and life sciences),
光子學(photonics),
汽車(automotive),
數據存儲(data storage),
激光處理(laser processing),
軍事/航空宇宙(military/aerospace),
電子制造和測試(electronic manufacturing and test),
裝配(assembly),
研究和開發(research and development),及其他需要高精度,高生產能力運動解決方案的應用提供了zui高的性能。
所有產品性能在產品線的深度和寬度上是有余格的。能“一站式”提供給用戶快速有效的解決方案。
從獲獎的Automation 3200 32軸運動,視覺,PLC,機器人和I/O網絡到系列單軸和多軸基于PC的和獨立運動控制器,AEROTECH提供一整套適合應用要求的控制方案。AEROTECH制造大選擇范圍的高性能的無刷直線和旋轉電機及線性驅動器。
AEROTECH的定位平臺范圍從經濟的滾珠絲杠和齒輪傳動的直線和旋轉平臺到很高性能的直接驅動直線和旋轉平臺,直線電機為基礎的笛卡兒坐標龍門系統,單軸和多軸氣浮系統,FiberMax, FiberAlign和全范圍的納米定位平臺。
如果您找不到適合的標準產品,AEROTECH可以為您定制運動零件和系統,其專業技術和能力在業界是*的。提供真空和無塵環境下的產品有悠久的歷史,
王 1-8-6-1-2-8-8-9-9-3-8(vx)
ABL1500直線電機平臺
1專為高性能掃描和檢測應用設計
2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋
3全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4大負載高剛性幾何特性極好
行程≤500mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應用設計
2運動超平滑,速度穩定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達1.2米
5全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
6全部非接觸設計
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應用設計
2雙軸,大孔,開放式結構
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅動XY軸
5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性極好
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
ABL9000氣浮平臺
王 1-8-6-1-2-8-8-9-9-3-8(vx)
1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測,平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承,步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
ABG10000氣浮平臺
1氣浮導軌實現超平滑運動
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測.
行程≤1000mm
精度±2um
重復定位精度±0.5um
直線度±1um
平面度±1um
王 1-8-6-1-2-8-8-9-9-3-8(vx)