深圳永興達超聲投入式超聲波震板
YXD-1000系列投入式超聲波震板由震板及超聲波發生器兩部分組成,適用于放置在各種容器內,根據安裝位置不同可做成底震式,側震式和頂震式,適應各種不同清洗要求。
分體式結構,震板與超聲波發生器之間采用高頻線連接,使用及保養均方便
全不銹鋼結構,耐酸耐堿,美觀耐用,特殊溶液時也可選用鈦板等材料制作
可選擇采用28KHZ,40KHZ,68KHZ,80KHZ,120KHZ,170KHZ的工作頻率。
安裝布置靈活,根據需要超聲輻射面可布置在清洗槽的底面、側面或頂面
美國高Q值換能器,超聲功率強勁,經久不衰
產品功能
1、爐前清洗:擴散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻膠。
3、氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋得沾污。
5、外延前清洗:除去埋層擴散后的二氧化硅及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及廣膠殘渣。
7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,二氧化硅層。
8、擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。
9、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。