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低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理最新的一種原理。
2、低溫等離子廢氣處理設備應用范圍
2.1 異味處理
低溫等離子廢氣可以處理異味廢氣、惡臭廢氣，如硫醇類、三甲胺、脂肪酸、二甲基硫等惡臭類氣體
低溫等離子廢氣處理設備處理有機廢氣
2.2 油霧凈化
工業油霧：加熱爐油煙、退火爐油煙等
2.3 低濃度有機廢氣
如污水處理廠、垃圾廠、制藥廠、煉油廠、化工廠、屠宰廠、養殖廠、飼料加工廠、造紙廠、印刷廠、塑料再生廠、實驗室產生的低濃度有機廢氣
3、低溫等離子廢氣處理設備優缺點
3.1低溫等離子廢氣處理優點
1）介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，達到常用等離子技術(電暈放電)的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
2）低溫等離子廢氣凈化設備技術反應速度快，氣體通過反應區的速度達到3-15米/秒，即達到很好的處理效果。
3）氣體通過部分，全部采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了低溫等離子廢氣處理技術設備腐蝕問題。
4）等離子廢氣處理設備主機為成套工業廢氣處理裝置，前面配有專用塔，能有效去除廢氣中的粉塵和水分，操作簡單。
5）自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節約能源。
6）運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢。
7）應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%。
3.2低溫等離子廢氣處理缺點
1）不能應用與要求防爆的場合
2）適用廢氣濃度較低200mg/m3以下
4、低溫等離子廢氣處理設備處理效率低溫等離子廢氣處理效率在60%——80%左右。
