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應用原理：
在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響,超低溫捕集泵則是解決問題的上佳選擇。
水汽捕集泵的工作原理：將一個能到-130℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60—90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8Torr、10ˉ5Pa）。
實際應用：
主要適用于物理（化學）氣相沉積鍍膜、真空蒸發鍍膜、磁控濺射鍍膜、離子鍍膜等真空鍍膜設備,光學鍍膜、卷繞鍍膜等各種功能鍍膜或裝飾鍍膜系統。可以在真空室內抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷卻裝置防止擴散泵返油。
1、水汽捕集器：
它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱：
放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態，無需除霜裝置。
根據需要,二者可以分別安裝或者同時安裝。