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超水設(shè)備出水水質(zhì)完全符合美國(guó)ASTM水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）、我國(guó)電子工業(yè)部水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

光電行業(yè)對(duì)水質(zhì)的要求：

新興的光電材料生產(chǎn)、加工、清洗；LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的水、超水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，這也對(duì)超水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。

應(yīng)用場(chǎng)合：

☆半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；

☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏；

☆高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)；

☆半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗；

☆超材料和超化學(xué)試劑、超化工材料；

☆實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間；

☆汽車(chē)、家電表面拋光處理；

☆光電產(chǎn)品；

☆其他高科技精微產(chǎn)品；

典型電子級(jí)超水制備工藝：

☆預(yù)處理----反滲透----水箱----陽(yáng)床----陰床----混合床----水箱----水泵----紫外線殺菌器----精制混床----微孔膜過(guò)濾器----用水對(duì)象

☆預(yù)處理----一級(jí)反滲透----pH調(diào)節(jié)裝置----中間水箱----二級(jí)反滲透----水箱----水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過(guò)濾器----用水對(duì)象

☆預(yù)處理----二級(jí)反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----水箱----水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過(guò)濾器----用水對(duì)象

新工藝

☆預(yù)處理----二級(jí)反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----水箱----水泵----紫外線殺菌器----拋光混床----TOC分解器----微孔膜過(guò)濾器----用水對(duì)象