低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時消除混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。

低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢。其基本原理是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。

低溫等離子體去除污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物 熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物 熱

從以上過程可以看出，低溫等離子設備電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

低溫等離子體廢氣處理設備性能特點：

1、高科技創新產品：“低溫等離子體”技術是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。

2、廢氣凈化：本設備能去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達98%

以上，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有強力殺滅空氣中細菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。除臭效果超過頒布的惡臭污染物排放一級標準。

3、無需添加任何物質：低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，不需任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。

4、適應性強：持久的凈化功能，無須專人看管。可適應高濃度、大氣量、不同氣態物質的凈化處理，可在高溫250℃,低溫-50℃的環境內,凈化區均可運轉,特別是在潮濕,甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行，每天24小時連續工作，長期運行穩定。

5、低耗節能：運行費用低廉、省電是“低溫等離子體”專利核心技術之一,處理1000M3/h臭氣，耗電量僅0.25度。本設備無任何機械動作，自動化程度高,工藝簡潔,操作簡單,方便無需專人管理和日常維護，遇故障自動停機報警，只需作定期檢查。

6、設備組合性強：“低溫等離子體”產品重量輕，體積小，可按場地要求立放、臥放，可根據廢氣濃度、流量、成份進行串、并組合設計達到完全的廢氣凈化。

7、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化性強，對酸、堿氣體、潮濕環境等具有良好的防腐性能。使用壽命長達15年以上。

8、安全：“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全。