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品牌
MKS
型號
Optima® 系列
輸出功率
5/10/20/30/40/60/80KW（W）
加工定制
否
適用范圍
功率電源
電源名稱
直流脈沖電源
當今先進濺射工藝要求高速、高精度、可控、高可靠性優質電弧控制，MKS Optima® OPT系列直流等離子電源是MKS新一代高性能等離子直流電源，可用于集成電路、存儲媒介、平板顯示器、太陽能電池和高端薄膜涂層制造工藝。
- Optima® 系列直流電源,其功率為5、10、20、30、40、60和80千瓦。
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