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Master
反復性、準確性、重現性
框架一體型
自動鏡頭調整鈕
Capacity Sensor
自動濾鏡
縫紉功能
自動對焦功能
安裝3個變焦距鏡頭
自動、半自動、手動測量模式
產品概要
三維表面輪廓儀利用光的干擾，可迅速，準確，并高檢測性的對1nm~10mm高度的模型的表面想象進行納米單位測量。相比接觸性方式，不會對測量物造成任何損傷，相比共焦方式，高解像力無關倍率均可得到統一結果，與AFM相比，可在寬測量領域內快速測量。
高度解像力0.1nm
任何倍率下，解像力均統一
測量納米等級
測量高速，高精密度，高解像力表現形象
可測量透明/半透明/不透明登各種樣品
無需非破壞，預加工程序即可輕松測量
反復性，準確性，重現性
應用領域
主要特征
測量高度，長度，段差，線，圓，弧，角度，款，寬，距離
面粗糙度，線粗糙度，波形
測量劃痕，磨損，缺陷
測量面積，大小
測試原理
利用光的干涉信號，將表面的形狀到1nm~10cm為止，沒有材料的破損，從相機中顯示的全部領域，正確，檢測到高強度為單位。
干涉信號是在任意義的基準點中，同時出現的光在移動到不同的場景（optical path），在移動后合上的時候，用兩個場景（optical path）的物理現象，是一種明亮的明亮的形態，這是干涉信號。
精密的Piezo掃描
高度以Piezo掃描通過Capacity Sensor進行Closed Loop
整體掃描范圍的0.1%呈線性
通過1次校準，2次校準，提高數據可靠性
Scan范圍
Scan范圍：100um，150um, 300um, 500um, 10mm
變焦鏡頭
變焦鏡頭: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x
物鏡
2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x
干涉鏡頭
干涉鏡頭(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x
干涉鏡頭(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x
Multi濾光鏡
多種濾光鏡選擇
調整干涉鏡頭
隨溫度變化的干涉紋樣調整
操作臺
真空操作臺，選擇操作臺，Aligner操作臺
