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光氧催化反應(yīng)進(jìn)行的階段是利用特制的高能UV紫外線(xiàn)光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣如：VOC類(lèi)，苯類(lèi)，烴類(lèi)，醇類(lèi)，酯類(lèi)，酮類(lèi)等多種VOC（揮發(fā)性有機(jī)化合物），處理效果好，凈化效率高，使有機(jī)或無(wú)機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線(xiàn)光束照射下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
第二階段是利用高能UV紫外線(xiàn)光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。 UV＋O2→O- O＊(活性氧)O O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對(duì)有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用，對(duì)工業(yè)廢氣及其它刺激性異味有立竿見(jiàn)影的清除效果。第三階段是利用納米紫外線(xiàn)照射涂有TIO2的媒介（光觸媒板）產(chǎn)生-OH來(lái)氧化有機(jī)廢氣。有機(jī)廢氣經(jīng)過(guò)本設(shè)備凈化后，使廢氣物質(zhì)其降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過(guò)排風(fēng)管道排出室外。
