伯東公司德國Pfeiffer氦質譜檢漏儀應用于真空滲碳爐檢漏應用（江蘇昆山某熱處理廠） 一、氦質譜檢漏儀應用于真空滲碳爐檢漏原因 真空滲碳爐 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精機（shinko seiki）羅茨泵機組(SR-75BⅡ SMB-C15) 抽真空，要求真空度需要到達 1x10-3 mbar 左右真空環境下才能有效工作， 由于滲碳處理需要溫度大約 900℃ 下進行，如果密封不好的話工件很容易氧化，造成整爐的工件保費，損失巨大。所以真空滲碳爐的密封性非常重要，檢漏非常關鍵。 二、氦質譜檢漏儀應用于真空滲碳爐檢漏方法 Pfeiffer HLT560 氦質譜檢漏儀提供兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正壓模式 (sniffer mode)，真空滲碳爐多采用檢漏儀的負壓模式既真空模式檢漏，將氦質譜檢漏儀與真空系統連接，較好連接在排氣口附近（也就是真空泵組的進氣口處），真空系統都會有泵組在抽真空，所以在泵的進氣口處連接氦質譜檢漏儀是在氣流的流向上，很容易有一部分分壓分給氦質譜檢漏儀，從而達到檢漏的效果。 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀連接在機械泵組的進氣口處，首先啟動泵組，對滲碳爐抽真空，同時啟動氦質譜檢漏儀，此時質譜檢漏儀上面的 Pfeiffer EVB 025 角閥一定處于關閉狀態，當泵組抽真空到達一定真空度（較高背壓為 25 mbar業界較高）時，可以進行檢漏操作。 檢漏工作準備就緒，泵組抽真空到達一定真空度后，氦質譜檢漏儀為待機狀態，EVB 025 角閥處于關閉狀態，此時可以按下檢漏儀啟動鍵，氦質譜檢漏儀開始測漏，然后慢慢開啟角閥，觀察漏率值的變化，由于檢漏儀和真空滲碳爐的腔體聯通，有真空度的變化，所以漏率值也會產生變化，等到漏率值平穩，再將角閥慢慢開到較大，等待數值穩定，可以噴氦氣進行檢漏。 當噴氦氣后氦質譜檢漏儀顯示漏率值超過設定值，并且有明顯的報警聲音，表明此處有漏點，然后在漏電處做標記，在進行其他部位的檢漏。 當檢測中找到漏電后，由于有氦氣進入真空系統，所以漏率值會緩慢上升，為了更快速檢測下一個漏電，可以按下顯示屏左下方的 ZERO 鍵，對檢漏儀進行本底清零，隨即可以查找下一個漏點，達到節省時間的效果。 三、氦質譜檢漏儀應用于真空滲碳爐檢漏形式說明 使用氦質譜檢漏儀真空模式檢測大型真空爐是業界所采用的廣泛的檢測方法，真空焊接爐使用真空系統抽真空，氦質譜檢漏儀連接在真空爐的排氣端，由于氣流都會走向真空系統，如果噴氦氣有漏的話，都會經過檢漏儀抽氣口，氦質譜檢漏儀檢測到氦氣后就可以在漏率上有一個變化，從而達到測量效果。 德國Pfeiffer 氦質譜檢漏儀更多應用領域：1. 汽車工業 （安全氣囊、鋁制車輪輪輞、油箱系統裝配、空調和空氣懸掛系統部件）2. 制冷/空調技術（蒸發器，壓縮機）檢漏3. 真空設備和增壓技術（閥門和接頭）檢漏4. 包裝技術（醫藥產品、食品）檢漏5. 低溫容器, 高壓容器檢漏 伯東企業（上海）有限公司是德國普發授權代理商。伯東真空主營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管); 氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空鍍膜機,真空系統以及HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機. CTI 低溫泵和美國KRI 離子源.Gamma離子泵。離子刻蝕機等 若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請登錄我們網站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: 86 （021） 5046-3511轉106 Fax : 86 （021） 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn