名片曝光使用說明

步驟1:創(chuàng)建名片

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步驟2:投放名片

創(chuàng)建名片成功后,將投放名片至該產(chǎn)品“同類優(yōu)質(zhì)商家”欄目下,即開啟名片曝光服務(wù),服務(wù)費用為:1虎幣/天。(虎幣充值比率:1虎幣=1.00人民幣)

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類型
渦輪分子泵
品牌
大阪真空機器制作所
型號
超高真空型TG-ML
材質(zhì)
-

日本大阪真空機器制作所 磁懸浮復(fù)合分子泵超高真空型TG-ML

大幅度減低了振動的TG-ML系列

半導體制造已經(jīng)步入到 進一步的「微小化」,「高度集成化」。并且,在分析,測量,檢查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。
為了實現(xiàn)微細加工以及微細領(lǐng)域的一些測量分析等,即使提升控制技術(shù),設(shè)備有振動就無意義了。所以在非常需要減低泵的振動。

用途

■ EUV曝光等新一代半導體制造
■ 高精度、高性能的電子顯微鏡,分析裝置,測量裝置等

TG-ML系列の振動特性

把泵體的振動值成功的控制在1nm以內(nèi)! ※本公司的測定方法
■ 如果安裝專用減振器,還可以再把振動值降低一個數(shù)量級!

規(guī)格

      TG390ML

      TG420ML

      TG900ML

      TG1300ML

      吸氣口法蘭

      VG100

      VG150

      VG150

      VG200

      CF100

      CF160

      CF160

      CF200

      ISO-B100

      ISO-B160

      ISO-B160

      ISO-B200

      抽氣速度 (L/s)

      N2

      340

      400

      900

      1300

      (附帶金屬保護網(wǎng)) N2

      320

      370

      860

      1230

      H2

      290

      300

      1050

      1200

      較大壓縮比

      N2

      1

      產(chǎn)品推薦
      “日本大阪真空機器制作所 磁懸浮復(fù)合分子泵超高真空型TG-ML”信息由發(fā)布人自行提供,其真實性、合法性由發(fā)布人負責。交易匯款需謹慎,請注意調(diào)查核實。
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