低溫等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，污染物的分子結構被破壞，形成有機小分子，進一步被氧化礦化形成CO2和H2O。
UV光解協同光觸媒催化氧化裝置的工作原理是當VOCs廢氣經過光催化處理模塊時，通過納米材料在紫外光的照射下，把光能轉變成化學能促使有機物降解，高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生的臭氧、·OH(羥基自由基)對惡臭有機氣體進行協同分解氧化反應，同時大分子有機氣體在紫外線作用下使其鏈結構斷裂，使惡臭有機氣體物質轉化為無臭味的低分子化合物。使有機物分子化學鍵斷裂，發生一系列復雜氧化、降解化學反應。蜂窩活性炭大量應用在低濃度、大風量的各類有機廢氣凈化系統中。被處理廢氣在通過蜂窩活性炭方孔時能夠充分與活性炭接觸，吸附效率可達90%，風阻系數小，具有優良的吸附、脫附性能和氣體動力學性能，可廣泛用于凈化處理含有甲苯，二甲苯、苯、等苯類、酚類、脂類、醇類醛類等有機氣體、惡臭味氣體和含有微量金屬的各類氣體。采用蜂窩活性炭的環保設備廢氣處理凈化效率高，吸附床體積小，設備能耗低，能夠降低造價和運行成本，凈化后的氣體完全滿足環保排放要求。
