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經脫水后的活性炭，加熱再生全過程一般需經過下述3個階段。(1)干燥階段。將含水率在50％～86％的濕炭，在100-150℃溫度下加熱，使炭粒內吸附水蒸發，同時部分低沸點有機物也隨之揮發。在此階段內所消耗熱量占再生全過程總能耗的50％一 70％。
(2)河北活性炭廢氣凈化設備焙燒階段，或稱碳化階段。粒炭被加熱升溫至150～700℃。不同的有機物隨溫度升高，分別以揮發、分解、碳化、氧化的形式，從活性炭的基質上消除。通常到此階段，再生炭的吸附恢復率已達到 60％～85％。
(3)河北活性炭廢氣凈化設備活化階段。有機物經高溫碳化后，有相當部分碳化物殘留在活性炭微孔中。此時碳化物需用水蒸汽、二氧化碳等氧化性氣體進行氣化反應，使殘留碳化物在850℃左右氣化成C02，CO等氣體。使微孔表面得到清理，恢復其吸附性能。
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