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高靈敏度能量色散型X射線熒光元素（element）檢測儀 EA6000VX
對于管理基板整面上的有害物質，以及針對微小部位的測定等以前的裝置對應比較困難的要求，EA6000VX都能做到。
.快速掃描
憑借 大150萬CPS的高計數率檢測器(detector)完成高靈敏度的測量，以及借助 大250 mmX200 mm范圍掃描的快速電動樣品臺，實現快速掃描測量。對于范圍為100 mmX100 mm的情況，可在2～3分鐘內檢測出端子部分的鉛并確定其位置。
2. 連續多點測量
多可指定500個測量位置進行連續多點測量。由于采用自動測量方式，因此在測量大量樣品是，也可發揮高效率。
3. 高精密重合
通過Telecentric Lens 系統和高速?高精度XY平臺，將元素（element）掃描像和光學成像進行重合對微小部品的中心部分的目標元素（element）也能進行簡單觀察。 大250 mmX200 mm上方觀察，并且能夠實現廣域位置 小誤差為100 μm以內的精確定位。
4. 微小部位測量
在FT系列中被公認的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說極薄的鍍金等膜厚測量，即便是在進行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質檢測的膜壓測量的同時也可進行膜厚測量。比如也可進行無鉛焊錫鍍層（plating）及引線框架上Sn鍍層（plating），無電解Ni鍍膜中所含的有害物質的濃度測量。
5. 環境中限制物的測量
RoHS等限制物的高靈敏度測量，短時間內測出樹脂、金屬等中含有的微量環境限制物。對復合樣品也可專注到特定部位進行測量。
6. 輕元素（element）測量
通過安裝充氦選購項，可以檢測鈉開始的輕元素（element）。測量中能夠獨立運轉的氦氣系統。將使用成本 大化降低。
7. 透視掃描機能
筆記本、手機等不能透過外包裝看到內部構造的產品，無需拆解就可得到不僅僅是基板上的Pb，甚至其他各種元素（element）的掃描圖。通過比較X射線照射后得到的元素（element）掃描圖像，可以了解關于產品內部部件構造的各種情報。
