EDWARDS 愛德華EH系列羅茨真空泵
EH/QMB系列
EH250、EH500、EH1200、EH2600、EH4200、QMB250、QMB500、QMB1200、QMB2600、QMB4200
概述：
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是很受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。
防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。
EH 泵具有量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到較低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要較高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
容積（工作容積）
50Hz 1195 m3h-1/715 ft3min-1
60Hz 1435 m3h-1/845 ft3min-1
使用后備泵時的有效抽取速度
E2M80 840 m3h-1/495 ft3min-1
E2M175 930 m3h-1/548 ft3min-1
E2M275 1020 m3h-1/601 ft3min-1
泵的壓差 ?
50Hz 0-90 mbar/0-68 Torr
60Hz 0-75 mbar/0-56 Torr
入口連接 ISO160
出口連接 ISO100
轉(zhuǎn)速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr
較高出口壓力 1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵 GXS160，GXS250，E2M80，E2M175
電源供給
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
馬達功率
碳氫化合物 3kW/4hp
PFPE 3kW/4hp
ATEX 3kW
防爆型 4hp
環(huán)境溫度范圍
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F
較高操作濕度 90% RH
推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C） 120 l h-1/0.53 gal min-1
推薦的冷卻水供應(yīng)壓力* 2-6 bar
冷卻水接頭 3/8 英寸 BSP 陽螺紋
推薦用油
標準型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
齒輪箱 1.25 升
聯(lián)結(jié)器箱 2.4 升
軸桿封口儲油器 0.125 升
重量 149 kg
