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本工程采用紫外UV光解工藝將有機廢氣成分中大部分的分子化學進行分解，并同時分解氧氣產生大量的氧化能力很強的臭氧，這些臭氧會將有機廢氣分解后的游離態原子和分子基因進行氧化，生成CO2和H2O；由于有機廢氣一般成份較為復雜，部份有機分子的化學性能較高，甚至高于光解的紫外線所具有的能量，這部份廢氣成份僅靠光解就無法被紫外光分解。等離子工藝對低濃度的有機廢氣處理有著立竿見影的效果，經過光解凈化后有機廢氣深度已經大大降低，而且等離子凈化工藝對有機分子性能沒有具體限制，因此，在光解之后增加一道等離子工藝，可以徹底將有機廢氣凈化，達到其他單獨工藝無法達到的效果。經實際案例運用后檢測，等離子光解組合工藝設備對有機廢氣的凈化率可穩定在90%以上。
