SURAGUS 薄膜電阻測(cè)試儀

SURAGUS EddyCus TF map 2525 薄膜電阻和厚度測(cè)試儀

方阻測(cè)試儀  薄膜面阻測(cè)試儀

TF lab系列產(chǎn)品是一款適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或成品檢測(cè)使用的薄膜面電阻（方塊電阻）及薄膜厚度測(cè)量的儀器。

特點(diǎn)

非接觸成像

高解析度成像（25 至1,000,000 點(diǎn)）

缺陷成像

封裝層的地圖

參數(shù)

面電阻（方塊電阻）（歐姆/平方）

金屬層厚度（nm、μm）

金屬基板厚度（nm、μm）

各向異性

缺陷

完整性評(píng)定

應(yīng)用

建筑玻璃（LowE）

觸摸屏和平板顯示器

OLED和LED應(yīng)用

智能玻璃的應(yīng)用

透明防靜電鋁箔

光伏

半導(dǎo)體

除冰和加熱應(yīng)用

電池和燃料電池

包裝材料

材料

金屬薄膜和柵格

導(dǎo)電氧化物

納米線膜

石墨烯、CNT（碳納米管）、石墨

打印薄膜

導(dǎo)電聚合物（PEDOT:PSS）

其他導(dǎo)電薄膜及材料

規(guī)格參數(shù)

測(cè)量技術(shù)：非接觸式渦流傳感器

基板：例如：箔片、玻璃、晶圓，等等

最da掃描面積：10 inch / 254 x 254 mm（根據(jù)要求可以更大）

邊緣效應(yīng)修正/排除：對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)尺寸，排除2 mm的邊緣

最da樣品厚度/傳感器間隙：2 / 5 / 10 / 25 mm（由最厚的樣本確定）

面電阻（方塊電阻）的范圍：

低       0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

標(biāo)準(zhǔn)    1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

高       10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度

金屬膜的厚度測(cè)量（例如：鋁、銅）：2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)

掃描間距：1 / 2 / 5 / 10 mm （根據(jù)要求的其它尺寸）

每單位時(shí)間內(nèi)測(cè)量點(diǎn)（二次形）：

5分鐘內(nèi)10,000個(gè)測(cè)量點(diǎn)

30分鐘內(nèi)1,000,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn)

掃描時(shí)間：

4 inch / 100 x 100 mm，在0.5至5分鐘內(nèi)（1-10mm 間距）

8 inch / 200 x 200 mm，在1.5至15分鐘內(nèi)（1-10mm 間距）

裝置尺寸（寬/厚/深）：549 x 236 x 786(836) mm  /  23.6 x 9.05 x 31.5 inch

重量： 27 kg

可用特色：

薄膜面阻成像

各向異性電阻傳感器