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CCQ-型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，驅動閥板作上下運動，實現閥門的開啟或關閉，從而達到在超高真空系統中接通或切斷氣流的目的。
適用的工作介質為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
主要技術性能
適用范圍（Pa） 10∧5~1.3×10ˉ7
閥門漏率（Pa.L/S） DN≤200為≤1.3×10ˉ7
DN≥250為≤6.7×10ˉ7
閥門烘烤溫度（℃） ≤150（除傳動裝置外）
開閥時閥板兩側壓力差（Pa） ≤2.7×10∧3
起源壓力（MPa） 0.4~0.6
電源壓力 標準出廠：AC220V/50Hz
特殊：AC110V;DC24;DC12V等
信號反饋 標準出廠：不帶反饋信號
特殊：磁性開關DC/AC5~240V
