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介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
等離子廢氣處理技術特點
低溫等離子廢氣處理技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。
1、介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，達到常用等離子技術(電暈放電)的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
2、技術反應速度快，氣體通過反應區的速度達到3-15米/秒，即達到很好的處理效果。
3、氣體通過部分，全部采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了低溫等離子廢氣處理技術設備腐蝕問題。
4、等離子廢氣處理設備主機為成套工業廢氣處理裝置，前面配有專用塔，能有效去除廢氣中的粉塵和水分，操作簡單。
5、自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節約能源。
6、運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢。
7、應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到標準。
8、重要特點：以非甲烷總烴為例，用色譜法檢測，非甲烷總烴去除率也許只有45%，但惡臭異味的去除率達90%。這是因為非甲烷總烴經過處理后，部分分子變成小分子，用色譜法檢測時，依然表現為非甲烷總烴。惡臭異味的去除率高，表明實際已經分解了90%以上的污染物質，因為分解后的物質也有部分有異味。
9、等離子廢氣處理技術處理工業廢氣技術不是水洗技術，是通過高能量等離子體對污染物的直接擊穿和直接轟擊，使分子鏈斷裂，并非污染物的轉移。
