(1)蒸發離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華(或蒸發)而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵:泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上,以實現抽氣目的的一種真空泵。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工、食品、建材等部門,特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品,是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置,實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環使用了自潤滑材料,便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工、食品、建材等部門,特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品,是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置,實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環使用了自潤滑材料,便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。