⑶真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。淄博業達水環真空泵廠⑸按電動機標牌規定連接電源,并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。⑹真空泵通電試運轉時,須取下電機皮帶,確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用,以防真空泵反轉噴油。(轉向按防護罩指示方向)(1)蒸發離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華(或蒸發)而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵:泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上,以實現抽氣目的的一種真空泵。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵