滑閥真空泵可單獨使用,也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時,需附加裝置。優點:相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大,價格相對高一點。用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用,也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理,真空干燥等工藝過程中。特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速;(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種:(1)往復式真空泵:是利用泵腔內活塞做往復式運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。(2)旋片式真空泵:是利用泵腔內活塞做旋轉運動,將氣體吸入、壓縮并排出。