羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機組即使采用雙級水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實際上水環(huán)泵的極限壓力比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。這樣，串聯(lián)一級大氣泵后的極限真空度可達(dá)20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達(dá)2~10Torr。工作原理：真空泵主要由真空泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等組合而成。在2X旋片真空泵的泵腔內(nèi)安裝轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的外圓和真空泵腔內(nèi)表面相切，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片，將定子分成高、低級兩個工作腔，旋轉(zhuǎn)時，真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂部與真空泵腔的內(nèi)壁保持親密接觸，而轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動，使得工作腔容積周期性擴大而吸氣，低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而進(jìn)一步地獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時，氣體在腔內(nèi)被壓縮，壓力劇增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的通道進(jìn)入低級腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出，此時高低級腔同時排氣；當(dāng)吸入壓強較低時，氣體由吸氣口進(jìn)入腔內(nèi)，而氣體在腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進(jìn)入低級工作腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，原理圖間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。