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為了提高羅茨旋片真空機組的抽氣性能，達到較高的極限真空和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機組配用較小規格的前極泵，羅茨旋片真空機組也有由二級羅茨真空泵串聯的三級機組。根據被抽真空系統的大小及氣體狀態，羅茨旋片真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，前者適用于較大真空系統及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列羅茨旋片真空機組為了防止前級旋片真空泵停機返油，在前級管道上裝有電磁放氣閥，其動作與前級旋片真空泵的電機聯動。羅茨滑閥真空機組是以羅茨泵為主，滑閥泵為前級泵的中高真空獲得設備。全套機組由羅茨泵、滑閥泵、管道（含不銹鋼波紋管）、閥門電拉箱等組成。此型號機組可以分為2大類，由H型滑閥泵與羅茨泵組成的真空機組和引進美國KINNEY技術生產的KT,KDH系列滑閥泵與無腐蝕性，對泵油不起化學反應的氣體，在開氣閥的條件下可抽除少量可凝性氣體。后者真空機組還是有KT,KDH系列滑閥泵在13300pa情況下長時間的運轉、節能、無振動，占地面積小等優點。往復式真空泵有臥式和立式兩類.但常用的是臥式活塞真空泵;活塞真空泵又有單缸和雙缸之分.其排氣閥的結構有滑閥式和自由閥式。JZJWLW型羅茨往復真空泵機組系列的啟動電流往往超過電機額定電流的數倍，所以必須配用相當的啟動開關。JZJWLW型羅茨往復真空泵機組系列極限真空度高，真空度長期穩定；在較高真空狀態下抽氣速率大；電機功率小，能耗低；過流部分無油潤滑，有利于尾氣的回收；5無二次水污染，減輕治污壓力；不怕水蒸氣，結構簡單，操作方便。
