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在干燥這一工序中所應用的羅茨泵－水環泵機組的抽真空系統裝置。主要設備的功用簡介如下：（1）真空閥關閉真空閥，機組停止運行，可保持干燥系統一定的真空度。（2）自動氣動安全閥為防止機組突然停車時水環泵系統中的水向羅茨泵及真空干燥系統中倒灌。（3）壓差閥機組開始運行時，先啟動水環泵，在壓差閥兩端逐漸產生壓差，達到一定值時，閥自動開啟，使系統中大部分氣體經此閥流進水環泵。當大氣逐漸通過大氣泵流進水環泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預抽時間。（4）水位計起止逆閥的作用，防止水環泵的水倒流。7.給電控柜送上電源，打開供液閥對液環泵供注水，按下啟動按鈕，液環真空泵運轉；電接點真空表控制羅茨泵自動啟動，羅茨水環真空機組開始工作，帶動整個系統。在運行中，如因某因素真空度低于限定值時，羅茨泵會自動停止運行，待真空度恢復到限值時，羅茨泵又重新啟動；8.關機前，要關閉系統與機組聯接蝶閥，然后按停止按鈕，羅茨水環真空機組停止運行。機組性能與羅茨泵允許排出壓力機組的性能在很大程度上取決于羅茨泵的允許排出壓力。這種允許值越低，水環泵作為前級泵的可能性就越小。如果羅茨泵這種允許值為1~10Torr，而不論單、多級的水環泵極限壓力大大高于這個數值，因此就不可能單獨與這種羅茨泵組合使用，而需要加二級大氣泵。如果羅茨泵排出壓力允許值在100Torr以上，則前級的水環泵也可以作為羅茨泵的前級泵的前級泵，這就大大地擴充了前級泵的應用范圍。
