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旋片式真空泵機組編輯旋片真空機組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優點。因為該機組的結構緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。而立式無油往復泵機組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時避免了水環機組所產生的大量廢水的排放而導致污染環境的問題。水環真空機組，大概可以分為下面幾種類型：水環泵：機組中水環泵的作用主要是造成羅茨泵所需的預備真空，對于一般情況而言，單級水環泵極限真空度不高，而目前我國生產的羅茨泵要求的預真空又比較高，因此實際上我們一般不用單級水環泵作為羅茨泵的前級泵，而是采用了極限壓力較低的雙級水環泵作為前級泵使用，這樣還可以降低機組的極限壓力。羅茨泵－水環泵并聯機械真空泵此機組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統，例如在真空干燥方面。要求處理大量水蒸汽的真空系統中，使用水環泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個機組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統中，需要極限真空較高的機械真空泵作為前級泵使用。但由于水環泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時間的真空干燥系統中，用水環泵作為羅茨泵前級泵很不經濟。在上述情況下，可將氣鎮機械真空泵與水環泵并聯，作為羅茨泵的前級泵。真空干燥時，先用水環泵進行預抽，直至水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮機械真空泵，切斷水環泵。如需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都較少.
