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icp發射光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，icp發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。icp發射光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。
1、進樣系統進樣系統是icp儀器中極為重要的部分，也是icp光譜分析研究中活躍的領域，按試樣狀態不同可以分別用液體、氣體或固體直接進樣。
2、電感耦合等離子體光源（icp）
3、光譜儀的分光（色散）系統 復合光經色散元素分光后，得到一條按波長順序排列的光譜，能將復合光束分解為單色光，并進行觀測記錄的設備稱為光譜儀。
4、檢測器--光電轉換器件光電轉換器件是光電光譜儀接收系統的核心部分，主要是利用光電效應將不同波長的輻射能轉化成光電流的信號。
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