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真空平臺(tái)指標(biāo)： 行程25-85mm , 每步的分辨率可以達(dá)到1u，零間隙，高剛性結(jié)構(gòu)，負(fù)載較大可以達(dá)到50kg。可以直接搭載XYZ運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。真空度范圍是：10^10mbar以內(nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，使運(yùn)動(dòng)精度更高。
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真空運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
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