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日本KOFLOC流量計
KOFLOC自1949年作為小島制作所創業以來，約60年間，專門致力于研究開發流體(氣體、液體）的 微少流量計測、控制技術。其間，公司的技術由模擬向數碼發展，機械走向電動持續發展。
KOFLOC主要生產浮子流量計、流體控制閥、電子式流量計、各種流體控制裝置、氮氣・氧氣・臭氧等氣體發生裝置，燃料電池裝置、除臭裝置、水處理裝置、醫療器械等。
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質量流量計/控制器
MFC/MFM等有精度，重復性，反應速度，甚至價格也有要求。它適合半導體，光纜，分析儀器，燃料電池，液晶屏，有機EL,生物工程，食品，環境測試，燃燒氣體控制，工程設備，試驗設備等各個環節，各個制造過程。他所用的傳感器是熱式流量傳感器，熱式質量流量計（以下簡稱TME）是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關系來測量流量的儀表。
標準 質量流量控制器
型號3660系列
型號3660系列質量流量控制器設計精密，成本較低。廣泛用于不同的領域，從實驗室和研究開發項目到各種分析儀器、真空裝置的標準采用機種，發揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。
特點
□通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現快速回應。
□通用的常閉型閥門確保了安全
□使用電磁執行器保證了高效的可靠性
□低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）
技術指標
F.S.量程
(N2換算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
閥門種類 常閉電磁閥
控制范圍
應答性
精度
重復性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
設定±2%F.S.至2秒以內（標準）
±1.5%F.S.以內（±2%F.S.以內）
±0.5%F.S.以內
壓力 耐壓 980kPa
操作
差壓 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
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