1、采用槽式混酸制絨和清洗,碎片率低,產能大,制絨效果好;
2、生產節拍3分鐘,4000片/小時,兼容125×125、156×156硅片;
3、制絨槽、酸洗槽溫度可控±1℃;
4、慢提拉工藝有效去除硅片表面水珠和水痕;
5、OF槽、QDR槽有效去除硅片表面的殘液;
6、烘干槽凈化熱風烘干硅片;
7、酸液反應槽、酸稱量槽、酸儲液槽采用德國PVDF材質制作;
8、采用伺服電機、滾珠絲桿提升、橫移,運行更穩定、更;
9、采用PFA熱交換器加熱, 控制制絨的溫度;
10、HF、HNO3、HCL 、KOH等的自動計量補液系統,準確控制補液的用量;
11、特有的防壓籃保護裝置,預防異常情況的損壞,裝有排氣系統,確保環境條件;
12、PLC全程序控制及觸摸屏人機界面操作。