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■適用范圍
西門子法多晶硅還原爐鐘罩（爐筒）內(nèi)壁的全自動清洗和烘干。
■工作原理
以高壓水射流為動力,以水力自驅(qū)動三維洗罐器為噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用水沖洗，完成清洗過程。
用經(jīng)過三級凈化（10萬級）的凈空氣，梯級加熱，終烘干完的鐘罩不再結(jié)露，可直接進入生產(chǎn)作業(yè)。
■系統(tǒng)特點
1) 技術能力強，設計合理，根據(jù)客戶需求，總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術優(yōu)勢，設計出本套系統(tǒng)，實現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。可根據(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計。
2) 設備性能，核心部件、元件和附件原裝。
3) 自動化程度高：PLC 觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。
4) 適應范圍廣：可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
5) 節(jié)能、環(huán)保、安全：提供了預熱（余熱蒸汽、余熱水或油）加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
■工作流程
還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑（堿液）清洗—漂洗—水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。
注：清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響，這方面我公司積累了豐富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題。
