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技術(shù)參數(shù)： ˉ采用全花崗石底座、支柱，機械系統(tǒng)的穩(wěn)定性 ˉ行程范圍：X軸------1000mmY軸------1200 mm ˉZ軸------400 mmT軸------360o ˉ傳動方式：高精密滾珠導(dǎo)軌 高精密滾珠絲杠 步進電機 ˉ圖像采集系統(tǒng)：高速圖像采集卡 鏡頭 低照度高分辨率CCD ˉ激光系統(tǒng)：650 nm波長激光，較大功率20 mW，連續(xù)可調(diào) ˉ機械精度：X、Y、Z三軸綜合精度分別≤0.05 mm ˉ機臺重復(fù)定位精度≤0.005 mm ˉ機臺：高精度花崗巖平臺，機臺承重
