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定制SOG工藝烘箱，含氧量≤30ppm工業烘箱，熱板烘培干燥箱
SOG工藝流程：旋涂→熱板烘培→退火。熱板烘培一般分三種，目的是初步的把SOG里的溶劑蒸除開始讓SOG里的si-o鍵進行鍵結，一般用三塊熱板，每塊熱板的溫度分別為80度，150度，250度。
一、無氧化烘箱特點：
無氧化烘箱，在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。
二．產品技術參數
1.SOG工藝無氧化烘箱型號： QMO-350
2、SOG工藝無氧化烘箱主要技術指標：
2.1含氧量：< 50ppm，30ppm, 20ppm;
2.2溫度范圍： RT（室溫） 60～ 300℃；
2.3溫度均勻度：±1.5%;
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W700×H700×D700mm
外形尺寸：W1300×H1500×D900mm
2.8電源：380V 3φ 50HZ 7KW
3、SOG工藝無氧烘箱箱體結構：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統部分組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內膽材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3.6 保溫材料：硅酸鋁棉；
4、SOG工藝無氧烘箱溫控系統
4.1控制器采用8段微電腦溫度控制器，具有PID控制參數自動整定功能。
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻；
定制SOG工藝烘箱，含氧量≤30ppm工業烘箱，熱板烘培干燥箱
