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在線?全數檢查/計測的提案。
實現在線計測的獨特的光學系數。
采用LED光源，減輕維修負擔。
根據設置條件可選擇光纖頭。
配置“膜厚計測”、“膜厚+光學常數（屈折率，吸收系數）同時計測”2種計測方法。
通過易懂的GUI，使操作更簡單。
在線計測中必不可少的觸發模式的充實。
與裝置?工程、CIM想配合的接口。
Z5FM-C200M —
光纖（標準型）
型號 Z5FM-FSC 3M ??? 3m
型號 Z5FM-FSC 5M ??? 5m
型號 Z5FM-FSC 7M ??? 7m
光纖（長距離型）
型號 Z5FM-FSB 3M ??? 3m
型號 Z5FM-FSB5M ??? 5m
型號 Z5FM-FSB 7M ??? 7m
軟盤驅動器型號 Z5FM-FDD1 —
參考用基板
型號 Z5FM-RMS1 ???? 100 ?? φ100 mm×0.525 mm
型號 Z5FM-RMS2
