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臭氧以氧原子的氧化作用破壞微生物膜的結構，以實現殺菌作用。臭氧對細菌的滅活反應總是進行的很迅速，與其它殺菌劑不同的是：臭氧能與細菌細胞壁脂類的雙鍵反應, 穿入菌體內部，作用于蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，從而導致細菌死亡。臭氧還作用于細胞內的核物質，如核酸中的嘌呤和嘧啶破壞DNA。臭氧首先作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷，而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜，而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。
紫外線殺菌消毒系統由雪萊特來開發的，雪萊特的紫外線殺菌消毒系統的原理，采用模塊化設計，模塊的大小和劑量隨處理量和水質的不同而定制設計，將消毒模塊置于消毒水渠內，連同岸上的其他部件及PLC控制單元構成消毒系統。
紫外線殺菌消毒系統一般由七個部分組成：①紫外燈模塊；②接線箱；③鎮流器控制柜；④PLC主控柜（人機界面箱）；⑤氣動裝置及空氣壓縮機；⑥起吊裝置；⑦溢流堰及相關輔助配件等。
臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學氧化反應。臭氧滅菌有以下3種形式：
1.臭氧能氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡。
2.直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。
3.透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。
