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氣浮式大行程影像測量儀VMS型
氣浮式大行程影像測量儀儀器介紹：采用龍門式結(jié)構(gòu)(橋架式)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定不變形，主要運(yùn)用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕緣材料等。
氣浮式大行程影像測量儀儀器特點(diǎn)：該系列氣浮式大行程影像測量儀采用龍門式結(jié)構(gòu)(橋架式)運(yùn)行性能穩(wěn)定，且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機(jī)、全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動控制、可電機(jī)在中、高速動動時(shí)的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動對焦、配合美國Navitar自動變焦鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動變焦而不需倍率校正。
氣浮式大行程影像測量儀型號及規(guī)格參數(shù)
影像測量儀系列型號
VMS5030(氣浮型) VMS6040(氣浮型)
工作臺 金屬臺面尺寸(mm) 760×640 730×530
玻璃臺面尺寸(mm) 550×350 650×450
運(yùn)動行程(mm) 500×300 600×400
Z軸升降行程 200mm
工作距離 92mm
X、Y、Z數(shù)顯解析度 1μm
X、Y坐標(biāo)示值誤差 ≤(3 L/200)μm
影像系統(tǒng) 攝影機(jī)： 日本原裝彩色1/2″CCD攝像機(jī)
變焦物鏡倍率： （美國：NAVITAR）0.7~4.5X 或自動變焦鏡頭
視頻總倍率： 30X~190X
物方視場： 10.6~1.6mm 表面光源與透射光源均用LED，48組可編程。
測量系統(tǒng) Mclns全自動測量軟件
宏康氣浮式大行程影像測量儀
