濺射鍍膜用靶材
1、規格尺寸:長方形或園形(依客戶的要求來進行加工),常是采用多片拼接而成,常用的規格包括:100X100X10mm、190X123X14mm, Ф14吋X0.5吋等。可為客戶加工各種規格。.
2、產品度:99.999%。
3、型號為P型,摻雜劑:硼。產品的電阻率:常規型(經濟型):∠0.1Ω?cm, 特殊型:0.2--1Ω?cm.
4、精度要求:常規要求為±0.1mm.
5、表面光潔度:表面平整無明顯的刀痕。光潔度≦0.7Ra
6、硅板完整性:用肉眼觀查無明顯的裂紋及缺陷。.
7、其他:硅板邊緣及角上經過倒角,以減少碰損的機率。
8、可為客戶進行硅板金屬化處理: 先在硅板上鍍上銀厚膜,然后再上焊錫。
9、也可為客戶進行包括銅背板的加工及焊接成整體的含銅板的硅靶。