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CCD 視覺檢測系統(tǒng)響應(yīng)的非均勻性分析
由于CCD 制造工藝過程及材料的非均勻性,如溝道摻雜濃度不均勻、表面密度分布不均勻以及柵氧化物厚度不同所造成的開啟電壓不同、感光單元有效面積不同等都會引起CCD 光敏元件響應(yīng)的非均勻性, 而且越是大規(guī)模的器件, 非均勻性問題越突出, 同時由此造成的暗電流的分布也是不均勻的, 這直接引起CCD 的固定圖像噪聲,導(dǎo)致CCD 在實際測量中存在所測得結(jié)果與實際值不符的問題。
光學(xué)鏡頭采用多種鏡片結(jié)構(gòu)主要是為了糾正單塊鏡片所造成的失真, 但是由于光線在鏡片中的折射率不一樣, 透過鏡片后會因為鏡片的干擾而產(chǎn)生像差, 例如球面像差, 暈光和失光。目前使用的鏡頭也只能盡量減少失真, 不能避免失真現(xiàn)象。
高亮度單色光源中LED 亮度隨著自身溫度的升高而產(chǎn)生一定程度的衰減, 同時光源在發(fā)光面上的不均勻性也會造成CCD 響應(yīng)的非均勻性,此外環(huán)境光的照度也會影響到CCD 成像面的照度值并直接影響檢測結(jié)果。
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