Pura氣露點變送器/在線露點儀的產品介紹: 在很多超氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業和超氣體應用的低價位變送器。 亮點 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV) 測量穩定，重復性好 高度集成的采樣裝置 模擬和數字輸出 安裝簡便 VCR 過程接口 設計緊湊小巧 顯示/報警單元可選 技術指標: 傳感器 傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器 量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) 分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C 壓力 較低 10-9 torr; 較大 24 MPa 氣體流量 1 ~ 5 Nl/min 電氣 電源 通常 24 V DC, 較低10 V ~ 較高28 V , 較大電流 25 mA 輸出 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 較大負載 = 100 Ω 50 Ω x (V 電源 -8) 輸出出錯狀態 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 機械性能 傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內拋光 氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口 安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中 尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm 重量 Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g 包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作