伯東公司德國普發pfeiffer 鍍膜機-靈活設計適合技術研究、開發和生產,可實現高真空蒸發鍍膜,磁控濺射鍍膜,離子鍍.Pfeiffer Classic 系列鍍膜機(高真空鍍膜系統)經過大量實驗和技術知識積累研發設計
主要應用領域: 半導體,光學,微電子學,顯示屏,光電工程,生物醫學工程等行業.
Pfeiffer 鍍膜機主要型號包含:
Pfeiffer Classic 250 鍍膜機(科研,小型研發)
Pfeiffer Classic 500 鍍膜機(科研,小規模生產)
Pfeiffer Classic 570 鍍膜機 (批量生產)
Pfeiffer Classic 580 鍍膜機 (生產線大批量生產)
Pfeiffer Classic 590 鍍膜機 (高吞吐量,通用的制造系統,滿足較高工業需求)
Pfeiffer Classic 620 鍍膜機 (較大吞吐量)
pfeiffer 鍍膜機主要優勢:
pfeiffer鍍膜機腔體
可搭配多種泵組(渦輪分子泵、低溫泵或油擴散泵)
pfeiffer 鍍膜機真空腔體可冷卻可加熱,極限真空度較高可達 < 5 · 10-7 mbar,腔體漏率 < 1 · 10-5 mbar l/s
真空腔體大小 35 至 1300 l(特殊尺寸可定制)
鍍膜機各種尺寸大小,根據實際應用和氣體吞吐量決定
內置各種標準配件,堅固耐用滿足嚴苛工業環境
低運營成本,易維護,兼容潔凈室
通過附加配件升級鍍膜機功能
pfeiffer 鍍膜機所有真空腔體均是不銹鋼材質
通過ISO 9001認證, ISO 14001認證,低能耗
pfeiffer 鍍膜機工藝:
pfeiffer德國普發鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機 蒸鍍過程優勢:
pfeiffer 鍍膜機蒸鍍
抗反射涂層
耐劃傷性涂料
激光面鏡
接觸金屬化
合金的沉積(Co-evaporation)
pfeiffer 鍍膜機 磁控濺射介紹:
pfeiffer 鍍膜機 磁控濺射
除了高真空蒸鍍系統,伯東公司德國普發pfeiffer 也提供磁控濺射腔體可選load-lock.相應型號Classic 250 to 570,有標準版本供選擇或根據濺射過程選擇(SP)定制版本
可用于:
金屬層(金、銅、鋁、鉻、…)
電介質層(二氧化硅,氧化鋁,…)
透明導電層(ITO
磁層
合金的沉積(co-sputtering)
伯東公司 pfeiffer 鍍膜機客戶現場圖片:
pfeiffer 鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機
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伯東企業(上海)有限公司是德國普發授權代理商。伯東真空主營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管); 氦質譜檢漏儀;質譜分析儀;真空鍍膜機,真空系統以及HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機. CTI 低溫泵和美國KRI 離子源.Gamma離子泵。離子刻蝕機等
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