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針對真空設備檢漏漏氣的判斷方法
在對某一實際的真空設備,經過一段長時間的抽氣過程之后,如果達不到預定的極限真空,其原因可從如下幾個方面進行分析和判斷:
①真空泵工作良好;
②真空系統內存在嚴重放氣;
③真空系統容器壁或間隙處漏氣;
④漏氣與放氣現象共存。
查找上述幾項原因的普通方法是靜態升壓法。這種方法通常是把被檢測的容器抽到一定的低壓后,將閥門關閉,使容器與泵隔離,然后測量容器內的壓力變化,做出壓力隨時間的變化曲線,就可以得出如圖 靜態真空容器中的壓力-時間曲線所示的圖形。若圖像呈現出圖 靜態真空容器中的壓力-時間曲線中直線a的情況,即壓力保持不變,但其壓力鍋恒定值Pb高于所要求的極限壓力值,那么真空容器中真空度抽不上去的原因就是真空泵工作性能不良。